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FormFactor
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CM300xi提供微暗室屏蔽和增强型微暗室(带Guard层）版本，全自动机型配置MHU,可处理25张8英寸或者12英寸晶圆。
应用领域:
IV/CV,RF/mmW, Failure Analysis, WLR,SiliconPhotonics
·屏蔽技术、低漏电技术、温度稳定性技术、智能扎针技术。
·具有高度配置灵活性、符合人体工程学等特征，方便操作等。
·最小漏电侦测能力3fA
·射频DC-1.1THz范围能力
·支持负载-牵引Load-Pull测试
·支持温变无人值守测量能力
·支持最小Pad尺寸可达25um*35um
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